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「熱技術のパイオニア」― 中外エアシステムのクリーン乾燥装置

中外エアシステムは「熱技術の中外炉」グループの一員として、
新素材、エレクトロニクス、バイオなどの先端技術産業における
生産設備技術の主要な一翼を担っていきたいと思います。
特にこれからの生産ラインでは、いっそうの無人化、省力化が求められる中で、
フルオートからバッチ式まで幅広く多彩な自動化ニーズに的確に応えてFAの確立に貢献してまいります。

 
 クリーンドライヤ 



紙、フィルム、アルミ、銅箔、金属ストリップなどを基材とするコーティングライン用のフローテーションドライヤで、基材の安定搬送とクリーンな雰囲気での高効率乾燥が可能です。
ドライヤ出入口においては片方向吹出しが可能で、各ノズルごとに最適風速が調節できる非常に安定した搬送を実現する、高効率型フローテンションノズルを備えております。また、このノズルはワンタッチで脱着できるのでメンテナンスが容易です。
 
 

3ゾーン×3ゾーンの計9ゾーンでの温度コントロールにより、大型サイズの基材でも温度分布が良好

3パターンの風向が選択可能

温湿度設定機能の採用により、乾燥速度のコントロールが可能



技術研究所 テスト装置
使用温度 :80〜150℃
使用湿度 :10〜160g/kg
循環風量 :5〜3m3N/min.
風 向 :ダウンフロー/アップフロー/サイドフロー
クリーン度 :クラス100
基材寸法 :MAX.600L×900Wmm
 
 クリーンオーブン 
  LCDや光ディスクなどの生産ラインでは、非常に高いクリーン度が要求されます。
ウォーキングビーム式・横型クリーンオーブンや枚葉式・縦型クリーンオーブンをはじめとし、装置自体の自動化はもちろんのことロボット搬送も含めて、無人化、省力化が可能です。搬送方式としては他にメッシュベルト型やトレイプッシャ型もあります。


クリーン度 :クラス10〜1,000
温 度 :50℃〜200℃
 
 
光ディスク用クリーンオーブン
処理材料 :光ディスク (マガジンに積載)
温 度 :140℃
クリーン度 :クラス100
熱 源 :熱風循環式(電気)
搬 送 :ローラーコンベア式
 
 
ガラス基板用クリーンオーブン
処理材料 :ガラス基板
温 度 :150℃
クリーン度 :クラス100
熱 源 :熱風循環式(電気)
搬 送 :ウォーキングビーム式
 
 
医療材用クリーンオーブン
処理材料 :医療材(トレイに積載)
温 度 :85℃
クリーン度 :クラス1,000
熱 源 :熱風循環式(蒸気)
搬 送 :トレイプッシャー式
 
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 エージング装置
     
  精密電子部品等を連続搬送できる自動エージング装置です。

処理材料 :PETフィルム(パレットに積載)
温 度 :90℃
クリーン度 :クラス100,000
熱 源 :熱風循環式(蒸気)
搬 送 :ウォーキングビーム式
 
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