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| 光ディスク用クリーンオーブン |
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| 処理材料 |
:光ディスク (マガジンに積載) |
| 温 度 |
:140℃ |
| クリーン度 |
:クラス100 |
| 熱 源 |
:熱風循環式(電気) |
| 搬 送 |
:ローラーコンベア式 |
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| ガラス基板用クリーンオーブン |
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| 処理材料 |
:ガラス基板 |
| 温 度 |
:150℃ |
| クリーン度 |
:クラス100 |
| 熱 源 |
:熱風循環式(電気) |
| 搬 送 |
:ウォーキングビーム式 |
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| 医療材用クリーンオーブン |
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| 処理材料 |
:医療材(トレイに積載) |
| 温 度 |
:85℃ |
| クリーン度 |
:クラス1,000 |
| 熱 源 |
:熱風循環式(蒸気) |
| 搬 送 |
:トレイプッシャー式 |
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